MEMS
iTomic? Lite系列輕型原子層沉積系統(tǒng)
iTomic? Lite輕型系列原子層沉積系統(tǒng)采用原創(chuàng)設(shè)計(jì)開發(fā)的自動(dòng)化平臺(tái)與模塊化ALD反應(yīng)腔相結(jié)合，以國產(chǎn)化零部件為主導(dǎo)，可以按需配置PEALD或Thermal ALD等工藝需求。Lite ALD系列設(shè)備具有強(qiáng)大的兼容性，其硬件配置在保持量產(chǎn)機(jī)型強(qiáng)大功能的前提下，可滿足各類晶圓尺寸（6、8英寸）量產(chǎn)工藝需求，同時(shí)也可滿足客戶高端研發(fā)和新工藝試量產(chǎn)需求。Lite ALD系列可廣泛應(yīng)用于MEMS、光電器件等泛半導(dǎo)體器件領(lǐng)域。
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