產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用中心
iSparol? 系列卷對(duì)卷原子層沉積系統(tǒng)
基于自主研發(fā)，將超大空間型ALD 鍍膜技術(shù)與真空卷對(duì)卷技術(shù)結(jié)合，開(kāi)發(fā)大型卷對(duì)卷原子層沉積鍍膜平臺(tái)。其中平臺(tái)集成超大型平面原子層沉積 (ALD) 系統(tǒng)，并開(kāi)發(fā)滿足產(chǎn)業(yè)化量產(chǎn)的成熟工藝材料體系，實(shí)現(xiàn)在超大寬幅柔性基材上制備高阻隔膜的整體解決方案。經(jīng)過(guò)多年產(chǎn)業(yè)化驗(yàn)證和裝備升級(jí)已經(jīng)迭代到二代產(chǎn)品。并獲得客戶驗(yàn)收和多臺(tái)重復(fù)訂單交付。
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