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CN
產(chǎn)品技術(shù)
硼擴(kuò)散
羲和?系列高溫低壓系統(tǒng)
羲和系列高溫低壓系統(tǒng)采用原創(chuàng)設(shè)計(jì)的高溫?zé)釄?chǎng)控制技術(shù)，真正實(shí)現(xiàn)了兼容磷、硼兩種擴(kuò)散工藝，其中硼擴(kuò)散工藝又兼容BBr?和BCl?兩種工藝源。獨(dú)創(chuàng)的冷卻技術(shù)可提升設(shè)備與零件的使用壽命，同時(shí)縮短了工藝時(shí)間，為PERC+和TOPCon等下一代量產(chǎn)高效電池的提效降本，提供了全套的主機(jī)及先進(jìn)的工藝解決方案。此外，羲和系統(tǒng)也提供退火，氧化和低壓化學(xué)氣相沉積（LPCVD）功能。
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產(chǎn)品特點(diǎn)
適用于PERC, TOPCon, XBC等高效電池技術(shù)路線的應(yīng)用
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超高載片量，182尺寸硅片載片量為2880片/管，兼容182mm到230mm尺寸硅片
2
設(shè)備多功能設(shè)計(jì)，可兼容磷摻雜、硼摻雜、退火或是LPCVD多晶硅功能
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創(chuàng)新放片方式，改善高溫工藝良率問題與單管裝片量
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